Máy sưởi linh hoạt sưởi ấm dưới đây

Việc gia nhiệt đồng đều các đường ống xả là điều cần thiết để ngăn chặn sự hình thành tinh thể và tắc nghẽn các hạt trong đường ống khí. Cho đến nay, có rất nhiều vấn đề về công nghệ sưởi ấm, chẳng hạn như độ dẫn nhiệt thấp của đường ống dẫn khí và đường ống bơm, truyền nhiệt không đều do chênh lệch nhiệt dung riêng do sự khác biệt về vật liệu trong các thành phần đường ống, sự dao động nhiệt độ môi trường giữa các phòng sạch, v.v. Cách hiệu quả nhất để giải quyết những vấn đề này là hệ thống sưởi ấm ống thổi được thiết kế mới "xida". Thiết kế tất cả các thành phần của hệ thống nhiệt từ đầu, bao gồm bộ gia nhiệt, cảm biến và bộ điều khiển, bao gồm cả thiết kế và chế tạo các hệ thống tích hợp hoàn chỉnh.

Chứng nhận CE＆SEMI S2-93.